| 测量范围 | 1700micro;m |
|---|---|
| 电源电压 | 100 to 240VAC |
| 计量单位 | 个,套 |
| 类型 | 数字式测厚仪 |
| 外形尺寸 | 482x330x279 mm |
| 显示方式 | LCD显示屏 |
| 品牌 | MTI |
| 型号 | Proforma 300i |
| 加工定制 | 是 |
| 测定对象 | 硅片 |
硅片尺寸76-300 mm
„高分辨率 LCD 显示
„快速、易于设置的菜单
„5点测量, 厚度变化量以及弯曲度测量
„网口以及RS232电脑接口
„前方的USB接口方便存储数据
„可达1700µm的测量范围
ProformaTM 300i – 手动晶圆测量工具
ProformaTM 300i – 规格说明
Proforma 300i | Proforma 300Gi | Proforma 300 OEMi 1 | |
精度2: | ±0.25 µm | ||
可重复性3: | ±0.25 µm | ||
分辨率: | 0.05 µm | ||
电压输入 (电压): | 100 to 240VAC | ||
电压输入 (频率): | 50 to 60Hz | ||
电力输入 (功率): | 50 W | ||
使用温度范围: | 15 to 40ºC | ||
响应时间: | 60ms | 客户指定 | |
尺寸(长x宽x高): | 482x330x279 mm | 483x388x89 mm | |
数据接口 | RS232, 网口, USB, LCD | RS232, 网口 | |
可支持的材料4: | |||
Si |
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Ge |
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InP |
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GaAs |
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重量: | 12.3 kg | 12.4 kg | 5.9 kg |
1 OEM型号只有数据采集系统和探头，因此，产品参数将依赖于客户安装的参数，联系我们确定产品的应用以及预期能达到的功能。
2 在22ºC恒定的温度下.
3 在重复定位的限定内.
4 测量的能力取决于几个因素（如电阻率）.
Proforma 300i使用MTI专有的快速、准确、可靠的非接触式PUSH-PULL电容探头。Proforma 300i**大可测量直径是300mm硅片的厚度, 总厚度变化以及弯曲度。